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陶瓷顶部加热器可广泛用于真空，惰性气体和其他各种工艺气体中的薄膜研发应用，以及各种真空膜沉积设备应用。顶板由氮化铝制成，氮化铝在高温下具有出色的导热性，并且具有很高的电绝缘性（也可提供Inc600，石英，Mo，W，BN板等）?？梢愿菔褂锰跫囱≡窦尤绕髟缃鹗粝呃鏝iCr，Inc，Mo，W，碳加热器例如石墨和CCC，以及涂层加热器例如PG / SiC / PBN涂层。它不仅用于研发，而且在半导体制造设备和各种真空设备（超高真空设备，例如PVD，CVD，MBE等）中的高温热板和基板加热阶段方面也取得了许多成就。

*陶瓷顶部加热器是定制产品。要求估算时，请告知我们所需的规格和条件。

8“ NiCr元素800℃

3”石墨1300℃

6”西伯克大衣1400℃

2”石墨1200℃

使用

?真空薄膜形成（CVD，溅射，ALD，PLD，MBE等）
?薄膜应力/热分析
wafer晶圆退火的加热台
?其他

使用的发热体：根据使用环境，可以从以下10种电线中选择

NiCr加热器Max1000℃?Inconel
加热器Max1000℃ 
?钨加热器Max1800℃ 
?钼加热器Max1800℃ 
?卤素灯加热器Max900℃ 
?石墨加热器Max2,200℃（真空）
?C / C复合加热器Max2,200℃（真空） ）
?各种涂层加热器（PG，PBN，SiC涂层，玻璃碳）*醉高工作温度因工作条件而异。

顶板材料

nitride氮化铝
?铬镍铁合金
?不锈钢（SUS304，SUS316）
?石英
?钼
?BN

醉高工作温度（元件温度）

主机连接方式

?ICF法兰
?ISO（KF，LF）法兰
?JIS（VG，VF）法兰
?M6双头螺栓固定
?固定支架等（*每次开会）

热电偶（可添加用于车身控制和过热检测）

?K型
?R，C型

参考数据[1英寸大1600℃陶瓷顶部加热器]温升测试（*页面顶部右图）

参考数据[6英寸大1200℃陶瓷顶部加热器（CCC元件）]面内温度分布测量