全自动半导体用低阻电阻率测定计

全自动半导体用低阻电阻率测定计

高精度测量

• 四探针测试原理：基于四探针测试原理，可以准确而快速地测试材料的低电阻特性。这种测试原理可以有效消除探头接触样品的接触电阻及导线的电阻，从而提高测量精度。

• 宽测量范围：量程范围扩大至0.001×10??~9.999×10?Ω，能够满足从超低电阻到较高电阻的多种测量需求。
• 多种测试单位：直读电阻（Ω）、表面电阻（Ω/□）、体积电阻（Ω·cm）、电导率（S/cm），可根据不同需求选择合适的测试单位。

智能操作界面

• 7.5英寸TFT触摸屏：配备7.5英寸真彩色640×480 TFT-LCD触摸屏操作界面，操作更加方便快捷。
• 自动测试功能：新增加一键自动测试功能，测试完毕后自动停止并保持测试值。此外，还设有定时模式（Timer Model）和自动保持模式（Auto-hold），可根据需要设定测试样品的时间。

多功能性

• 多种测试模式：除了基本的电阻测量模式外，还增加了硅晶体测试模式，能够满足不同材料的测试需求。
• 自动计算纠正因子（RCF）：可根据输入的样品尺寸、厚度、探头放置在样品上的相对坐标值及选用探头型号，仪器内部程序自行计算并显示每个测试点的纠正因子（RCF）值，并直接显示相应的单位测试值。
• 数据存储与传输：仪器本地内存可存储2000组数据，并可通过USB口转出存储的测试数据。

适应性强

• 可更换多种探头：可选配多种MCP系列探头，适应测试不同大小及不同材料的测试对象。
• 测试电流极性可转换：测试电流施加的极性可转换，使测试更加准确。

应用广泛

• 宽测量范围：量程范围扩大至0.001×10??~9.999×10?Ω，能够满足从超低电阻到较高电阻的多种测量需求。
• 多种测试单位：直读电阻（Ω）、表面电阻（Ω/□）、体积电阻（Ω·cm）、电导率（S/cm），可根据不同需求选择合适的测试单位

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智能操作界面

• 7.5英寸TFT触摸屏：配备7.5英寸真彩色640×480 TFT-LCD触摸屏操作界面，操作更加方便快捷

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• 自动测试功能：新增加一键自动测试功能，测试完毕后自动停止并保持测试值。此外，还设有定时模式（Timer Model）和自动保持模式（Auto-hold），可根据需要设定测试样品的时间。

多功能性

• 多种测试模式：除了基本的电阻测量模式外，还增加了硅晶体测试模式，能够满足不同材料的测试需求。
• 自动计算纠正因子（RCF）：可根据输入的样品尺寸、厚度、探头放置在样品上的相对坐标值及选用探头型号，仪器内部程序自行计算并显示每个测试点的纠正因子（RCF）值，并直接显示相应的单位测试值

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• 数据存储与传输：仪器本地内存可存储2000组数据，并可通过USB口转出存储的测试数据

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适应性强

• 可更换多种探头：可选配多种MCP系列探头，适应测试不同大小及不同材料的测试对象

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• 测试电流极性可转换：测试电流施加的极性可转换，使测试更加准确

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应用广泛