精密气体控制用快速响应型质量流量控制器

精密气体控制用快速响应型质量流量控制器

1. 高精度控制：控制精度可达 ±1.0% 设定点，确保流量控制的准确性。
2. 快速响应：响应时间小于 1 秒，适用于动态过程控制。
3. 多通信协议支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多种通信协议，确保与不同系统的兼容性。
4. 多气体/多量程功能：用户可通过软件更改气体类型和满量程设置，无需更换设备，提升灵活性。
5. 高可靠性设计：采用 316L 不锈钢接液材质，适用于腐蚀性气体，高洁净工艺兼容。
6. 支持多种通信模式：即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。
7. 高精度和高速响应：提供高精度（+/- 1.0% 设定点）和高速响应。

8. 多气体/多量程功能：可降低制程成本。

1. 高精度控制：控制精度可达 ±1.0% 设定点，确保流量控制的准确性。
2. 快速响应：响应时间小于 1 秒，适用于动态过程控制

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3. 多通信协议支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多种通信协议，确保与不同系统的兼容性。
4. 多气体/多量程功能：用户可通过软件更改气体类型和满量程设置，无需更换设备，提升灵活性。
5. 高可靠性设计：采用 316L 不锈钢接液材质，适用于腐蚀性气体，高洁净工艺兼容

   。
6. 支持多种通信模式：即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®

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7. 高精度和高速响应：提供高精度（+/- 1.0% 设定点）和高速响应

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8. 多气体/多量程功能：可降低制程成本

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