半导体制造小型卡门涡流流量计

半导体制造小型卡门涡流流量计

1. 内置温度传感器：该系列流量计内置温度传感器，能够监测液体温度，从而实现高精度流量测量。这种设计减少了因液温变化而产生的精度误差。
2. 温度补偿功能：FML-300系列通过内置在流路内的温度传感器获取液体温度，并根据检测到的温度信息对漩涡频率进行补偿，从而实现了液体温度变化时的高精度流量测量。
3. 多种液体适用：量程从小流量(F.S.2.5L/min) 到大流量(F.S.250L/min)，能够对应多种液体。
4. 无O型圈设计：接触液体部位的材质均采用New PFA，无O型圈设计，适合用于半导体工艺流程中液体流量的监控。
5. 体积小节省空间：设计紧凑，节省安装空间。
6. 高防水性：防水性相当于IP65等级。
7. 单电源驱动：电源为12-24VDC单电源驱动，方便使用。

1. 内置温度传感器：该系列流量计内置温度传感器，能够监测液体温度，从而实现高精度流量测量。这种设计减少了因液温变化而产生的精度误差。
2. 温度补偿功能：FML-300系列通过内置在流路内的温度传感器获取液体温度，并根据检测到的温度信息对漩涡频率进行补偿，从而实现了液体温度变化时的高精度流量测量。
3. 多种液体适用：量程从小流量(F.S.2.5L/min) 到大流量(F.S.250L/min)，能够对应多种液体。
4. 无O型圈设计：接触液体部位的材质均采用New PFA，无O型圈设计，适合用于半导体工艺流程中液体流量的监控。
5. 体积小节省空间：设计紧凑，节省安装空间。
6. 高防水性：防水性相当于IP65等级。
7. 单电源驱动：电源为12-24VDC单电源驱动，方便使用。