搭载压力数据监测功能数字电离真空计

搭载压力数据监测功能数字电离真空计

性能特点

• 宽范围测量：可测量从5×10?2 Pa到1.0×10? Pa（大气压）的宽范围压力。
• 高抗冲击性：传感器头具有优异的抗冲击性，能够承受较大的机械冲击。
• 优异的耐腐蚀性：细丝材料采用铂（Pt），具有良好的耐腐蚀性。
• 高可维护性：传感器头易于更换，一键式大气压力调节和零点调节，维护方便。

操作与兼容性

• 提高可用性：可以通过连接到PC或智能手机来执行设定点设置、状态确认等操作。
• 灵活的测量输出信号：兼容其他厂家型号，模拟输出形式可从预设的典型输出形式中选择。
• 多种通信规格：SW100-A为模拟输出类型，SW100-R为串行通信类型，支持RS232C/RS485通信。

应用领域

• 半导体制造：适用于FPD、半导体、电子零件等各种制造设备（在线型、单晶圆型）。
• 工业设备：可用于真空炉等工业设备。
• 分析设备：适用于各类分析设备。

其他特性

• 工作温度范围：10至40℃。
• 工作湿度范围：15至80%（无冷凝）。
• 存储温度：-20℃至65℃（不通电，无冷凝）。
• 防护等级：IP30。

性能特点

• 宽范围测量：可测量从5×10?2 Pa到1.0×10? Pa（大气压）的宽范围压力

  。
• 高抗冲击性：传感器头具有优异的抗冲击性，能够承受较大的机械冲击

  。
• 优异的耐腐蚀性：细丝材料采用铂（Pt），具有良好的耐腐蚀性

  。
• 高可维护性：传感器头易于更换，一键式大气压力调节和零点调节，维护方便。

操作与兼容性

• 提高可用性：可以通过连接到PC或智能手机来执行设定点设置、状态确认等操作

  。
• 灵活的测量输出信号：兼容其他厂家型号，模拟输出形式可从预设的典型输出形式中选择。
• 多种通信规格：SW100-A为模拟输出类型，SW100-R为串行通信类型，支持RS232C/RS485通信。

应用领域

• 半导体制造：适用于FPD、半导体、电子零件等各种制造设备（在线型、单晶圆型）

  。
• 工业设备：可用于真空炉等工业设备。
• 分析设备：适用于各类分析设备。

其他特性

• 工作温度范围：10至40℃

  。
• 工作湿度范围：15至80%（无冷凝）。
• 存储温度：-20℃至65℃（不通电，无冷凝）。
• 防护等级：IP30

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