产品资料
高精度定位单元多孔质陶瓷制空气滑块
产品名称: 高精度定位单元多孔质陶瓷制空气滑块
产品型号: RC系列
产品特点: 高精度定位单元多孔质陶瓷制空气滑块日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空气滑块」定位为“测量设备用高精度定位单元"，典型特点是把多孔质陶瓷导轨 + 静压空气轴承集成在一条紧凑底座内，可在 2400 mm 行程内实现 ≤ 2 µm 的直线度，重复再现性 0.2 µm 以内，适用于三坐标、激光测厚、晶圆检测等需要亚微米级定位的测量工位 。
高精度定位单元多孔质陶瓷制空气滑块 的详细介绍
高精度定位单元多孔质陶瓷制空气滑块
高精度定位单元多孔质陶瓷制空气滑块
日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空气滑块」定位为“测量设备用高精度定位单元"，典型特点是把多孔质陶瓷导轨 + 静压空气轴承集成在一条紧凑底座内，可在 2400 mm 行程内实现 ≤ 2 µm 的直线度，重复再现性 0.2 µm 以内，适用于三坐标、激光测厚、晶圆检测等需要亚微米级定位的测量工位。
主要规格与优势
- 材质：导轨与滑块工作台整体烧结陶瓷，质量轻、热膨胀系数低，长时间使用弯曲变形量小。
- 精度（出厂实测附报告）
- 直线精度：垂直/水平面内与理想直线偏差 ≤ 2 µm/2400 mm
- 滑块上表面平行度：±1 µm/100 mm
- 重复定位：0.2 µm（未加载，0.1 MPa 供气）
- 结构选项
- 可移动式（手动/电机驱动）与定置式两种；最长 3500 mm 拼接供货。
- 接口与附件
- 标准底座两侧带 M4 螺纹孔，可直接锁至花岗岩平台或铝框架；
- 可选配 PM-T 伺服/步进一体驱动单元，实现闭环 0.01 µm 分辨率。
- 使用环境
- 供气 0.4-0.6 MPa 洁净干燥空气；
- 温度 20 ± 1 ℃ 时性能最佳，可在 Class 1000 洁净室长期运行。
综上，RC 系列通过“全陶瓷导轨 + 静压空气轴承"把直线度控制在 2 µm 级，同时保持 0.2 µm 重复性，是测量设备或半导体检查装置实现高精度、长行程定位的典型空气滑块方案。
日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空气滑块」定位为“测量设备用高精度定位单元"，典型特点是把多孔质陶瓷导轨 + 静压空气轴承集成在一条紧凑底座内，可在 2400 mm 行程内实现 ≤ 2 µm 的直线度，重复再现性 0.2 µm 以内，适用于三坐标、激光测厚、晶圆检测等需要亚微米级定位的测量工位。
主要规格与优势
- 材质：导轨与滑块工作台整体烧结陶瓷，质量轻、热膨胀系数低，长时间使用弯曲变形量小。
- 精度（出厂实测附报告）
- 直线精度：垂直/水平面内与理想直线偏差 ≤ 2 µm/2400 mm
- 滑块上表面平行度：±1 µm/100 mm
- 重复定位：0.2 µm（未加载，0.1 MPa 供气）
- 结构选项
- 可移动式（手动/电机驱动）与定置式两种；最长 3500 mm 拼接供货。
- 接口与附件
- 标准底座两侧带 M4 螺纹孔，可直接锁至花岗岩平台或铝框架；
- 可选配 PM-T 伺服/步进一体驱动单元，实现闭环 0.01 µm 分辨率。
- 使用环境
- 供气 0.4-0.6 MPa 洁净干燥空气；
- 温度 20 ± 1 ℃ 时性能最佳，可在 Class 1000 洁净室长期运行。
综上，RC 系列通过“全陶瓷导轨 + 静压空气轴承"把直线度控制在 2 µm 级，同时保持 0.2 µm 重复性，是测量设备或半导体检查装置实现高精度、长行程定位的典型空气滑块方案。
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