半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪

产品名称: 半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪

产品型号: XPS-7 XD5-7

产品特点: 半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪
1 台主机多可挂载 5 个不同气体传感器头（半导体级）
通过电磁阀自动循环切换，实现多路 / 多点 / 多气体连续监视
目标：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 级毒性气体
适用于晶圆厂 Gas Box、Y-Piece、阀门分配箱（VMB）及 CVD / 刻蚀 / 离子注入工艺段

半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪 的详细介绍

半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪

1 台主机多可挂载 5 个不同气体传感器头（半导体级）通过电磁阀自动循环切换，实现多路 / 多点 / 多气体连续监视目标：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 级毒性气体适用于晶圆厂 Gas Box、Y-Piece、阀门分配箱（VMB）及 CVD / 刻蚀 / 离子注入工艺段

表格

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单元	型号	功能
主机	XPS-7	5 通道自动切换、4–20 mA / RS-485、3 段报警、LCD 图形
传感器头	XD5-7-○○	半导体专用检测头（○○ = 气体代码）
采样泵	内置	0.3 L min?1 无刷隔膜泵，可外接 30 m 采样管线
采样路径	5 路电磁阀	1 s–999 s 可设驻留时间，循环或定点模式

检测原理：

电化学式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
半导体式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景补偿）

检测范围（示例）：
SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
PH? 0–200 ppb / 1 ppb
AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
HCl 0–5 ppm / 10 ppb
响应时间 T90：≤ 30 s（采样距离 10 m 以内）
报警输出：
独立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），继电器 1 A×3，可联锁 Shut-valve
自我诊断：传感器断线、流量低、阀门异常、泵寿命倒计时
校准：内置电磁阀切换零气 / 量程气，无需拆头，30 s 完成两点校准
防护：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可选氢气防爆）
电源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 阀）
尺寸／重量：XPS-7 194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg

检测原理：

电化学式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
半导体式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景补偿）

检测范围（示例）：
SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
PH? 0–200 ppb / 1 ppb
AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
HCl 0–5 ppm / 10 ppb
响应时间 T90：≤ 30 s（采样距离 10 m 以内）
报警输出：
独立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），继电器 1 A×3，可联锁 Shut-valve
自我诊断：传感器断线、流量低、阀门异常、泵寿命倒计时
校准：内置电磁阀切换零气 / 量程气，无需拆头，30 s 完成两点校准
防护：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可选氢气防爆）
电源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 阀）
尺寸／重量：XPS-7 194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg