直结型带气体镇流阀节省空间油旋转真空泵

直结型带气体镇流阀节省空间油旋转真空泵

• 半导体/面板小型溅射、蒸镀设备的粗抽与前级
• 真空干燥箱、冷冻干燥机、离心浓缩仪的真空源
• 分析仪器（SEM、质谱、电子束）前级或无油系统的后备泵
• 汽车部件、LED、锂电等研发线快速抽真空或氦检漏前级

• GHP-800B　800 L/min　极限分压 ≤ 4×10?2 Pa　电机 2.2 kW　重量 ≈ 42 kg
• GHP-1300　1300 L/min　极限分压 ≤ 4×10?2 Pa　电机 3.7 kW　重量 ≈ 58 kg
• GHP-1300B　1300 L/min　极限分压 ≤ 4×10?2 Pa　电机 3.7 kW　带高效油雾过滤器　重量 ≈ 60 kg

1. 每日检查油位与颜色，若油乳白或黏度下降 > 20%，立即换油。
2. 每 500 h 打开气体镇流阀 5 min 进行“自清洗"，排出泵腔残留可凝物。
3. 每 2000 h 或一年更换油过滤器与油雾分离元件；高水汽场合建议缩短至 1000 h。
4. 保持进气口洁净，必要时加装冷凝阱或吸附阱，防止颗粒/腐蚀性气体进入泵腔。

• 半导体/面板小型溅射、蒸镀设备的粗抽与前级
• 真空干燥箱、冷冻干燥机、离心浓缩仪的真空源
• 分析仪器（SEM、质谱、电子束）前级或无油系统的后备泵
• 汽车部件、LED、锂电等研发线快速抽真空或氦检漏前级

• GHP-800B　800 L/min　极限分压 ≤ 4×10?2 Pa　电机 2.2 kW　重量 ≈ 42 kg
• GHP-1300　1300 L/min　极限分压 ≤ 4×10?2 Pa　电机 3.7 kW　重量 ≈ 58 kg
• GHP-1300B　1300 L/min　极限分压 ≤ 4×10?2 Pa　电机 3.7 kW　带高效油雾过滤器　重量 ≈ 60 kg

1. 每日检查油位与颜色，若油乳白或黏度下降 > 20%，立即换油。
2. 每 500 h 打开气体镇流阀 5 min 进行“自清洗"，排出泵腔残留可凝物。
3. 每 2000 h 或一年更换油过滤器与油雾分离元件；高水汽场合建议缩短至 1000 h。
4. 保持进气口洁净，必要时加装冷凝阱或吸附阱，防止颗粒/腐蚀性气体进入泵腔。