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产品资料
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多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵

产品名称: 多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵
产品型号: TS系列
产品特点: 多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵
日本 Unozawa TS 系列是一款“多级罗茨、无油、反向扩散结构"的干式真空泵，主打高耐久性 + 大排气速度，专为含可凝性蒸气或粉尘的半导体、光伏、化工等长周期工艺设计。结合 2024-2025 版英文样本，核心信息如下：
结构特点
多级罗茨转子无接触、无油，省略同步齿轮，维护周期＞20 000 h
反向扩散流路：气体在泵腔内折返流动，可凝蒸气被回流冷气连续

多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵 的详细介绍

多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵

多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵

日本 Unozawa TS 系列是一款“多级罗茨、无油、反向扩散结构"的干式真空泵，主打高耐久性 + 大排气速度，专为含可凝性蒸气或粉尘的半导体、光伏、化工等长周期工艺设计。结合 2024-2025 版英文样本，核心信息如下：
  1. 结构特点
  • 多级罗茨转子无接触、无油，省略同步齿轮，维护周期＞20 000 h
  • 反向扩散流路：气体在泵腔内折返流动，可凝蒸气被回流冷气连续稀释，显著降低凝结与腐蚀，提高耐化学耐久性
  • 回流冷却系统：每级压缩后通过水冷夹套冷却，排气温度＜115 °C，减少聚合物/药液热分解沉积，延长清洗间隔
  1. 高排气速度（50 Hz 数据）
    | 型号 | 抽速 (m3/h) | 极限压力 (Pa) | 最大反压 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |
60 Hz 抽速再提升 10–15 %
  1. 无油 & 清洁
  • 泵腔无油，无碳片/无润滑脂，排气侧无油雾回流，满足半导体、面板厂对洁净真空的要求
  • 可选氮气吹扫口与排气消音器，用于粉尘或腐蚀性气体工艺，减少维护频率
  1. 节能 & 噪音
  • 变频直连电机（可?。?，根据负荷自动降速，比传统单级罗茨节电 15–25 %
  • 无齿轮啮合，运行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，无需隔音罩即可放在洁净室楼下机房
  1. 典型应用
  • 半导体：CVD、ALD、刻蚀腔真空泵，可长期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸气而不卡死
  • 光伏：PERC/TopCon 刻蚀、PECVD 工段，抗 SiN 粉尘反扩散
  • 化工 & 制药：溶剂蒸馏、干燥、结晶，可冷凝甲苯、DMF 等有机蒸气并在线回收
  1. 选型 & 订货
  • 标准品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 现货 2–3 周；
  • 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接机械增压泵 (TE 系列) 组成干式机组，极限 10?2 Pa 级
一句话总结：TS 系列 = 无油 + 大抽速 + 反向扩散冷却，专门对付含粉尘/可凝蒸气的长周期工艺，半导体、光伏、化工用户可直接用它当主泵，省去油泵及繁重的换油维护。
日本 Unozawa TS 系列是一款“多级罗茨、无油、反向扩散结构"的干式真空泵，主打高耐久性 + 大排气速度，专为含可凝性蒸气或粉尘的半导体、光伏、化工等长周期工艺设计。结合 2024-2025 版英文样本，核心信息如下：
  1. 结构特点
  • 多级罗茨转子无接触、无油，省略同步齿轮，维护周期＞20 000 h
  • 反向扩散流路：气体在泵腔内折返流动，可凝蒸气被回流冷气连续稀释，显著降低凝结与腐蚀，提高耐化学耐久性
  • 回流冷却系统：每级压缩后通过水冷夹套冷却，排气温度＜115 °C，减少聚合物/药液热分解沉积，延长清洗间隔
  1. 高排气速度（50 Hz 数据）
    | 型号 | 抽速 (m3/h) | 极限压力 (Pa) | 最大反压 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |
60 Hz 抽速再提升 10–15 %
  1. 无油 & 清洁
  • 泵腔无油，无碳片/无润滑脂，排气侧无油雾回流，满足半导体、面板厂对洁净真空的要求
  • 可选氮气吹扫口与排气消音器，用于粉尘或腐蚀性气体工艺，减少维护频率
  1. 节能 & 噪音
  • 变频直连电机（可?。?，根据负荷自动降速，比传统单级罗茨节电 15–25 %
  • 无齿轮啮合，运行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，无需隔音罩即可放在洁净室楼下机房
  1. 典型应用
  • 半导体：CVD、ALD、刻蚀腔真空泵，可长期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸气而不卡死
  • 光伏：PERC/TopCon 刻蚀、PECVD 工段，抗 SiN 粉尘反扩散
  • 化工 & 制药：溶剂蒸馏、干燥、结晶，可冷凝甲苯、DMF 等有机蒸气并在线回收
  1. 选型 & 订货
  • 标准品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 现货 2–3 周；
  • 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接机械增压泵 (TE 系列) 组成干式机组，极限 10?2 Pa 级
一句话总结：TS 系列 = 无油 + 大抽速 + 反向扩散冷却，专门对付含粉尘/可凝蒸气的长周期工艺，半导体、光伏、化工用户可直接用它当主泵，省去油泵及繁重的换油维护
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