桌面小体积多功能镀层快速无损检测膜厚计

桌面小体积多功能镀层快速无损检测膜厚计

1. 测量规格
• 原理：上部照射式荧光 X 射线（XRF）——X 管激发→样品发射特征荧光→SDD 探测器计数，强度与厚度呈函数关系，通过校准曲线直接算出镀层厚度
• 厚度范围：0.01 µm–50 µm（因材料而异，Au/Ni/Cu/Sn 典型下限 0.01 µm）
• 精度：≤ ±1 % 或 ±0.01 µm（以较大者为准）；重复性 ≤ 0.5 %（10 次，Ni 5 µm 标准片）
• 可测元素：Ti(22)–U(92) 之间任意单金属或合金镀层，如 Au、Ag、Pd、Ni、Cu、Sn、Cr、Zn 等
2. 硬件与操作
• 桌面占地：W 340 × D 450 × H 320 mm，15 kg，无需地脚螺栓
• X 射线管：微焦点 50 kV/1 mA，钨靶，光斑 φ0.1 mm（准直器可换 0.1/0.2/0.5 mm），适合小焊盘或连接器引脚
• 探测器：硅漂移探测器 (SDD)，能量分辨率 < 150 eV，无需液氮，开机 1 min 即可测量
• 样品台：手动 XY 100 × 100 mm，行程精度 0.01 mm；带激光定位点，CCD 实时观察，防止测到基材区
3. 软件与数据
• 3 秒完成一次单点测量；自动多点方案可设 99 个坐标，一键批量跑完并输出 Max/Min/Ave/RSD
• 标配 USB-A ×2、RS-232C；可实时输出 CSV 或送入 SPC 软件，做 Cp/Cpk 报告
• 校准：一点、两点、多点线性/二次曲线；支持 NIST 标准片导入，满足 ISO/IEC 17025 溯源要求
4. 安全与监管
• 全密封铅玻璃测量室，表面剂量 < 1 µSv/h，符合日本《放射线障害防止规则》Group-2 豁免管理，无需射线作业主任
• 智能联锁：开门即自动切断高压，LED 三色状态灯，可外接警示灯塔
5. 典型应用
• 电子接插件：Au 0.05 µm / Ni 2 µm 连接器，批量 100 % 终检
• 半导体引线框架：Ag 3–5 µm 镀层均匀性监控，RSD ≤ 2 %
• 装饰品：手表表带 Pd 0.3 µm / Au 0.2 µm 厚度确认，防止贵金属浪费
• 汽车零部件：Zn-Ni 8 µm 防腐层，盐雾试验前厚度抽检
6. 选型提示
• 如需多镀层（Cu/Ni/Au）同时测厚，可选 COSMOS-3X，配 FP 法软件，一次给出各层厚度与合金比例
• 若产线 100 % 在线检测，可加装自动进出料滑台与二维码扫描，实现“扫码-测量-判定-上传 MES"全自动