产品资料
超纯水在线超声隔膜球阀复合型2方球阀阀门
产品名称: 超纯水在线超声隔膜球阀复合型2方球阀阀门
产品型号: A型
产品特点: 超纯水在线超声隔膜球阀复合型2方球阀阀门日本 USL 推出的“纯水超声波清洁型 2 方球阀 A 型"是一款专为超纯水（UPW）系统设计的隔膜-球阀复合结构阀门，核心思路是“阀内在线超声+纯水冲洗"，可在不拆解、不排放工艺管路的前提下，对阀腔、密封面及死角区的油脂、微粒进行原位去除，满足半导体、面板厂对“金属离子、TOC、颗粒求。结构特点
超纯水在线超声隔膜球阀复合型2方球阀阀门 的详细介绍
超纯水在线超声隔膜球阀复合型2方球阀阀门
超纯水在线超声隔膜球阀复合型2方球阀阀门
日本 USL 推出的“纯水超声波清洁型 2 方球阀 A 型"是一款专为超纯水（UPW）系统设计的隔膜-球阀复合结构阀门，核心思路是“阀内在线超声+纯水冲洗"，可在不拆解、不排放工艺管路的前提下，对阀腔、密封面及死角区的油脂、微粒进行原位去除，满足半导体、面板厂对“金属离子、TOC、颗粒求。
- 结构特点
- 阀体：两段式全通径 PTFE/PFA 衬里球阀，两端法兰口径 2"（DN50），与纯水主管路同径，流阻小、无积液区
- 超声单元：阀体外壁环形镶嵌 6 片 40 kHz 超声波换能器（功率 30 W×6），通过阀壁传导形成空化，直接作用于阀腔液体
- 纯水接口：阀腔上下各设 1/4" PFA 快拧口，可引入 18 MΩ·cm 超纯水或药液，形成“底部进-顶部出"的错流冲洗，配合超声将剥离颗粒即时带走
- 密封：一体式 PFA 隔膜 + 弹簧加载阀座，实现零外漏、零颗粒脱落，阀门等级 ISO Class 5 洁净室包装
- 性能参数
- 工作压力：0.8 MPa
- 工作温度：5 – 95 °C（超声开启时建议 ≤ 60 °C，以延长）
- 清洗节拍：纯水冲洗 2 min + 超声 3 min + 终淋 1 min，总耗时 6 min，颗粒去除率 ≥ 99 %（0.1 µm 基准）
- 超声空化强度：约 2 W cm?2，足以破坏油脂膜，但对 PTFE/PFA 衬里无损伤
一句话总结：USL“纯水超声波清洁型 2 方球阀 A 型"把环形 40 kHz 超声+错流纯水冲洗集成到 2" PFA 衬里球阀，6 min 在线完成油脂/颗粒去除，TOC/颗粒度指标满足半导体级超纯水系统要求，管路“零拆解"维护的经济型解决方案。
一句话总结：USL“纯水超声波清洁型 2 方球阀 A 型"把环形 40 kHz 超声+错流纯水冲洗集成到 2" PFA 衬里球阀，6 min 在线完成油脂/颗粒去除，TOC/颗粒度指标满足半导体级超纯水系统要求，管路“零拆解"维护的经济型解决方案。
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