半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置
产品名称: 半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置
产品型号: 8900型系列
产品特点: 半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置日本 Aquath 8900 型系列 —— 高耐久、高性能“隔膜式"除氧器(脱气装置)(适用锅炉补给水、半导体超纯水、食品工艺水等)一、工作原理中空纤维隔膜 + 真空抽吸并行水在隔膜内侧流动,外侧保持真空;O?、CO? 分压差驱动气体穿过膜壁被抽走,脱气温度可低至 10 ℃,无需热力除氧的高温蒸汽。内循环真空泵 + 喷射器组合,极限真空 ≤ 0.8 kP
半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置 的详细介绍
半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置
半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置
日本 Aquath 8900 型系列 —— 高耐久、高性能“隔膜式"除氧器(脱气装置)
(适用锅炉补给水、半导体超纯水、食品工艺水等)
一、工作原理
中空纤维隔膜 + 真空抽吸并行
内循环真空泵 + 喷射器组合,极限真空 ≤ 0.8 kPa;出口溶解氧 ≤ 5 μg L?1(5 ppb),CO? ≤ 0.1 mg L?1。
二、型号与性能(2025 产品手册)
| 型号 | 处理水量 | 隔膜材质 | 出口 DO* | 外形 W×D×H | 自重 |
|---|
| 8905 | 0.5 m3 h?1 | PMP? | ≤ 5 ppb | 360×300×650 mm | 28 kg |
| 8910 | 1.0 m3 h?1 | PMP | ≤ 5 ppb | 420×350×750 mm | 38 kg |
| 8930 | 3.0 m3 h?1 | PVDF? | ≤ 3 ppb | 600×500×1100 mm | 75 kg |
| 8950 | 5.0 m3 h?1 | PVDF | ≤ 3 ppb | 700×600×1300 mm | 110 kg |
| *DO = 溶解氧;?PMP = 聚甲基戊烯高透氧中空纤维;?PVDF = 耐氧化、寿命更长。 |
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三、高耐久设计
隔膜束可抽取式:10 万小时设计寿命,现场 5 分钟完成更换,无需拆管。
过流部全 316L + PTFE;密封圈全氟醚 (FFKM),耐 80 ℃、20 % NaClO 清洗。
真空泵水循环冷却,夏季连续运行泵头温度 < 40 ℃,保证润滑油长寿命。
四、控制与节能
PLC + 7 吋彩色触控屏:实时显示 DO、真空度、流量、压差,支持 SD 卡数据记录。
变频真空控制:负荷波动时自动降低泵速,比定频机型节电 15-25 %。
远程接口:RS-485 (Modbus-RTU) + 4-20 mA 输出,可接入 DCS/SCADA。
五、典型应用
① 半导体/面板超纯水站终端脱氧,保护 UV 185 灯、混床树脂
② 锅炉补给水除氧,替代热力除氧器,节能 > 30 %
③ 食品/制药工艺水脱氧,抑制好氧菌滋生,延长保质期
④ 实验室高纯水系统进水前处理,保证 DO ≤ 1 ppb
六、交货与文件
国内现货:8905/8910 各 5 套;8930/8950 4-6 周
随机提供:工厂 DO 测试报告、真空泵 CE 证书、隔膜更换操作视频
质保:整机 1 年,中空纤维隔膜 3 年(按运行小时数折算)