实验室用紧凑型真空镀膜机射设备

实验室用紧凑型真空镀膜机射设备

特点

1. 超紧凑机身设计：作为直流溅射类设备中的小型机，机身尺寸仅为160mm×450mm×290mm，真空系统内置，便于放置在实验台上，节省空间。
2. 简易操作：附带小型真空计，能够管理成膜条件，确保成膜条件的可再现性。
3. 专用试料台与靶材台：配备专用的试料台与靶材台，可以简单地调节靶材与基板之间的间距，方便操作。
4. 多功能性：可用于电极镀膜，也可用于扫描电镜成像中非导电样品的镀膜。
5. 高精度溅射：采用DC磁控溅射方式，溅射时间可从0至15分钟调节，最长可达30分钟（在连续模式下），溅射真空范围为5~30Pa。

技术参数

应用

• 电极镀膜：适用于制作薄电极膜，特别适合于需要高精度的电极膜制备。
• 扫描电镜成像：可用于非导电样品的镀膜，提高样品的导电性，便于进行扫描电镜观察。

特点

1. 超紧凑机身设计：作为直流溅射类设备中的小型机，机身尺寸仅为160mm×450mm×290mm，真空系统内置，便于放置在实验台上，节省空间。
2. 简易操作：附带小型真空计，能够管理成膜条件，确保成膜条件的可再现性。
3. 专用试料台与靶材台：配备专用的试料台与靶材台，可以简单地调节靶材与基板之间的间距，方便操作。
4. 多功能性：可用于电极镀膜，也可用于扫描电镜成像中非导电样品的镀膜。
5. 高精度溅射：采用DC磁控溅射方式，溅射时间可从0至15分钟调节，最长可达30分钟（在连续模式下），溅射真空范围为5~30Pa

   。

技术参数

应用

• 电极镀膜：适用于制作薄电极膜，特别适合于需要高精度的电极膜制备

  。
• 扫描电镜成像：可用于非导电样品的镀膜，提高样品的导电性，便于进行扫描电镜观察

  。