超小型全自动真空镀膜机涂布机
超小型全自动真空镀膜机涂布机
全自动轻松制作电子显微镜用样品
通过预置方式,可以实现膜厚控制(简易型)。
前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性
全自动轻松制作电子显微镜用样品
通过预置方式,可以实现膜厚控制(简易型)。
前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性
阴极 | φ2英寸/2极对向电极 |
射击目标 | 附带Au目标 |
蚀刻目标 | 附带Al目标 |
膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
气体引入机构 | 针阀 |
真空泵 | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
排気操作 | 自动 |
腔室尺寸 | 内径φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前门开闭式 |
寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本体:15kg RP:9公斤 |
阴极 | φ2英寸/2极对向电极 |
射击目标 | 附带Au目标 |
蚀刻目标 | 附带Al目标 |
膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
气体引入机构 | 针阀 |
真空泵 | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
排気操作 | 自动 |
腔室尺寸 | 内径φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前门开闭式 |
寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本体:15kg RP:9公斤 |
阴极 | φ2英寸/2极对向电极 |
射击目标 | 附带Au目标 |
蚀刻目标 | 附带Al目标 |
膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
气体引入机构 | 针阀 |
真空泵 | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
排気操作 | 自动 |
腔室尺寸 | 内径φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前门开闭式 |
寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本体:15kg RP:9公斤 |
阴极 | φ2英寸/2极对向电极 |
射击目标 | 附带Au目标 |
蚀刻目标 | 附带Al目标 |
膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
气体引入机构 | 针阀 |
真空泵 | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
排気操作 | 自动 |
腔室尺寸 | 内径φ120mm×D120毫米(SUS制造) |
試料交換方法 | 前门开闭式 |
寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本体:15kg RP:9公斤 |
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