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离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵

产品名称: 离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵
产品型号: ISP-500C
产品特点: 离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵
日本 ANEST IWATA 岩田 ISP-500C 是一款用于离子镀膜等洁净工艺的无油干式涡旋真空泵，主要特点如下：
抽速与真空度
50 Hz 时 500 L/min（30 m³/h），60 Hz 时 600 L/min（36 m³/h）
极限压力 ≤ 1 Pa
多电压电机
单相版本：100 V/115 V/200 V/230 V，50/60 Hz 可选

离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵 的详细介绍

离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵

离子镀膜设备清洁排气无油干式涡旋真空泵

日本 ANEST IWATA 岩田 ISP-500C 是一款用于离子镀膜等洁净工艺的无油干式涡旋真空泵，主要特点如下：
  1. 抽速与真空度
    • 50 Hz 时 500 L/min（30 m3/h），60 Hz 时 600 L/min（36 m3/h）
    • 极限压力 ≤ 1 Pa
  2. 多电压电机
    单相版本：100 V/115 V/200 V/230 V，50/60 Hz 可?。蝗喟姹荆?00-230 V/380-480 V，50/60 Hz。出厂默认 200 V 级接线
  3. 接口与尺寸
    吸气口 NW40，排气口 NW25；泵体 372 × 328 × 397 mm，重约 25 kg
  4. 运行特性
    空冷、无润滑油、无冷却水；噪音 ≤ 70 dB(A)（带空气冲洗时）
  5. 离子镀膜适用性
    低振动、清洁排气、防泄漏规格，可直接作为离子镀膜设备的前级或粗抽泵，也可为涡轮分子泵提供无油 backing
日本 ANEST IWATA 岩田 ISP-500C 是一款用于离子镀膜等洁净工艺的无油干式涡旋真空泵，主要特点如下：
  1. 抽速与真空度
    • 50 Hz 时 500 L/min（30 m3/h），60 Hz 时 600 L/min（36 m3/h）
    • 极限压力 ≤ 1 Pa
  2. 多电压电机
    单相版本：100 V/115 V/200 V/230 V，50/60 Hz 可??；三相版本：200-230 V/380-480 V，50/60 Hz。出厂默认 200 V 级接线
  3. 接口与尺寸
    吸气口 NW40，排气口 NW25；泵体 372 × 328 × 397 mm，重约 25 kg
  4. 运行特性
    空冷、无润滑油、无冷却水；噪音 ≤ 70 dB(A)（带空气冲洗时）
  5. 离子镀膜适用性
    低振动、清洁排气、防泄漏规格，可直接作为离子镀膜设备的前级或粗抽泵，也可为涡轮分子泵提供无油 backing



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