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高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计

产品名称: 高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计
产品型号: F71
产品特点: 高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计
半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命

高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计 的详细介绍

高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计

高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计

半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命

一、产品定位

  • 半导体制造应用：离子注入、MOCVD、磁控溅射、磁夹具、晶圆搬运
  • 台式高斯计/特斯拉计：非接触磁场测量，0.1 mG – 35 T，台式 2.1 kg
  • F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采样，5 年寿命
半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命

一、产品定位

  • 半导体制造应用：离子注入、MOCVD、磁控溅射、磁夹具、晶圆搬运
  • 台式高斯计/特斯拉计：非接触磁场测量，0.1 mG – 35 T，台式 2.1 kg
  • F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采样，5 年寿命

二、核心技术参数（F71）

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项目参数
测量范围0.1 mG – 35 T（全范围）
精度0.01 %（0.01 % RDG）
分辨率0.1 mG（0.1 mG，16 bit）
采样率1 MHz（1 MHz，实时）
频率范围DC – 50 kHz（AC 磁?。?/td>
温度系数< 10 ppm/°C（-10 – 60 ℃）
探头接口BNC + USB + RS-485（实时）
真空兼容≤ 1×10?? Pa（真空版探头）
电源DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器）
尺寸/重量200×150×45 mm，2.1 kg
寿命5 年（探头 + 主机）

三、功能亮点

  1. 0.1 mG – 35 T 全范围：从地球磁场到 35 T 全范围，半导体磁场全覆盖
  2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁场重复性 ≤ 0.01 mG
  3. 1 MHz 高速采样：1 MHz 实时采样，适合快速磁场变化
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
  5. 2.1 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用


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