产品资料
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
产品名称: 半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
产品型号: ECN型
产品特点: 半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器半导体清洗装置在线用高纯度制药液加热器在线 · 高纯度 · 制药液 · 加热器 · PFA/PTFE流路0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年寿命
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器 的详细介绍
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
半导体清洗装置在线用高纯度制药液加热器
在线 · 高纯度 · 制药液 · 加热器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年寿命
一、产品定位
- 半导体清洗装置在线用：单片清洗、CMP后清洗、药液预热
- 高纯度制药液加热器：HF/H?SO?/NH?OH/有机溶剂，PFA/PTFE全流路
- 在线加热：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在线，高纯度，5年寿命
二、核心技术参数（ECN型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 流路材质 | PFA + PTFE（高纯度，无颗粒） |
| 温度范围 | 0 – 180 ℃（全范围） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范围 | 5 – 500 mL/min（全范围） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 寿命 | 5 年（连续运行） |
三、功能亮点
- PFA/PTFE 高纯流路：无颗粒，Class 100，无金属离子溶出
- 0-180 ℃ 全温度：PID闭环，±0.1 K，药液温度微变实时捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 5-500 mL/min 宽流量：单片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一台覆盖
- 1.9 kg 超轻：A5底面积，可手提移动，通风橱内即用
半导体清洗装置在线用高纯度制药液加热器
在线 · 高纯度 · 制药液 · 加热器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年寿命
一、产品定位
- 半导体清洗装置在线用：单片清洗、CMP后清洗、药液预热
- 高纯度制药液加热器：HF/H?SO?/NH?OH/有机溶剂，PFA/PTFE全流路
- 在线加热：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在线，高纯度，5年寿命
二、核心技术参数（ECN型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 流路材质 | PFA + PTFE（高纯度，无颗粒） |
| 温度范围 | 0 – 180 ℃（全范围） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范围 | 5 – 500 mL/min（全范围） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 寿命 | 5 年（连续运行） |
三、功能亮点
- PFA/PTFE 高纯流路：无颗粒，Class 100，无金属离子溶出
- 0-180 ℃ 全温度：PID闭环，±0.1 K，药液温度微变实时捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 5-500 mL/min 宽流量：单片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一台覆盖
- 1.9 kg 超轻：A5底面积，可手提移动，通风橱内即用
产品目录
-
机械设备
- 磁选机
- 纯水器
- 超声波清洗器
- 压力传感器
- 流量控制器
- 乳钵机
- 水准仪
- 变送器
- 臭氧检测仪
- 色谱仪
- 抛光机
- 加热器
- 张力计
- 混凝土检测仪
- 加热板
- 储藏
- 压力机
- 热压机
- 破碎机
- 振荡器
- 电炉
- 分散机
- 切割机
- 往复泵
- 搅拌
- 色选机
- 擂溃
- 臭氧发生器
- 气体发生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相机
- 涂布机
- 镀膜机
- 试验机
- 球磨机
- 均质机
- 脱泡机
- 点焊机
- 干燥机
- 研磨机
- 密度仪
- 擂捣机
- 混合设备
- 除铁机
- 电子
- 填充头
- 装置
- 点胶笔
- 传感器
- 冷却器
- 机器
- 压铸机
- 氧气监视器
- 系统
- 粉碎机
- 轮廓仪
- 测量针
- 过滤器
- 比色计
- 亮度计
- 喷雾干燥机
- 真空加热装置
- 蒸发器
- 化学合成反应装置
- 温度湿度计
- 真空泵
- 循环排水器
- 化学反应装置
- 工业设备
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