超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜
超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜
参数 | 详情 |
---|---|
阴极 | φ2英寸DC磁控管/2极对向电极 |
靶材 | Au靶材附属 |
膜厚设定方式 | 预设方式/带膜厚监视器的数字显示 |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直联式回转真空泵:20l/min(带自动逆流防止阀) |
排气操作 | 自动 |
真空腔尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开闭式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:225/420/320mm;RP:300/160/200mm |
重量 | 主体:15kg;RP:9kg |
参数 | 详情 |
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阴极 | φ2英寸DC磁控管/2极对向电极 |
靶材 | Au靶材附属 |
膜厚设定方式 | 预设方式/带膜厚监视器的数字显示 |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直联式回转真空泵:20l/min(带自动逆流防止阀) |
排气操作 | 自动 |
真空腔尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开闭式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:225/420/320mm;RP:300/160/200mm |
重量 | 主体:15kg;RP:9kg |
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