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超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜

产品名称: 超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜
产品型号: SC-701MC
产品特点: 超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜
特点
小型化设计:作为直流溅射类设备中的小型机,SC-701MC具有超紧凑的机身尺寸,便于实验室和小规模生产中使用。

超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜 的详细介绍

超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜

超小型的溅射装置涂布机用于制备导电薄膜

特点

  • 小型化设计:作为直流溅射类设备中的小型机,SC-701MC具有超紧凑的机身尺寸,便于实验室和小规模生产中使用。
  • 全自动操作:从排气到涂层,再到进入大气,整个过程都是全自动的,减少了人工操作的复杂性和误差。
  • 磁控管阴极:采用磁控管阴极,有助于减轻离子损伤,从而生产出高质量的溅射薄膜。
  • 膜厚控制:配备预设方式和数字显示膜厚监视器,可以精确控制膜厚。
  • 易于操作:专用的试料台和靶材台,可以方便地调整靶材与基板之间的距离。
  • 适用范围广:适用于各种电子元器件的电极膜制备、反射薄膜制备等。

技术参数

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参数详情
阴极φ2英寸DC磁控管/2极对向电极
靶材Au靶材附属
膜厚设定方式预设方式/带膜厚监视器的数字显示
气体导入机制针阀
真空泵直联式回转真空泵:20l/min(带自动逆流防止阀)
排气操作自动
真空腔尺寸内径φ120mm×D120mm(SUS制)
样品交换方法前门开闭式
尺寸(宽/深/高)主体:225/420/320mm;RP:300/160/200mm
重量主体:15kg;RP:9kg

应用

  • 各种电子元器件的电极膜制备。
  • 用于制造反射薄膜等的应用。
SC-701MC以其小型化、自动化和高质量的薄膜制备能力,成为实验室和小规模生产中理想的溅射设备。

特点

  • 小型化设计:作为直流溅射类设备中的小型机,SC-701MC具有超紧凑的机身尺寸,便于实验室和小规模生产中使用
  • 全自动操作:从排气到涂层,再到进入大气,整个过程都是全自动的,减少了人工操作的复杂性和误差
    。
  • 磁控管阴极:采用磁控管阴极,有助于减轻离子损伤,从而生产出高质量的溅射薄膜
    。
  • 膜厚控制:配备预设方式和数字显示膜厚监视器,可以精确控制膜厚。
  • 易于操作:专用的试料台和靶材台,可以方便地调整靶材与基板之间的距离
  • 适用范围广:适用于各种电子元器件的电极膜制备、反射薄膜制备等
    。

技术参数

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参数详情
阴极φ2英寸DC磁控管/2极对向电极
靶材Au靶材附属
膜厚设定方式预设方式/带膜厚监视器的数字显示
气体导入机制针阀
真空泵直联式回转真空泵:20l/min(带自动逆流防止阀)
排气操作自动
真空腔尺寸内径φ120mm×D120mm(SUS制)
样品交换方法前门开闭式
尺寸(宽/深/高)主体:225/420/320mm;RP:300/160/200mm
重量主体:15kg;RP:9kg

应用

  • 各种电子元器件的电极膜制备。
  • 用于制造反射薄膜等的应用。
SC-701MC以其小型化、自动化和高质量的薄膜制备能力,成为实验室和小规模生产中理想的溅射设备。


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