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低浓度臭氧环境测量半导体制造用

产品名称: 低浓度臭氧环境测量半导体制造用
产品型号: model1200
产品特点: 低浓度臭氧环境测量半导体制造用
测量性能
测量方法：采用紫外线吸收法，依据朗伯-比尔定律，通过光度吸收原理精确测量臭氧浓度。
测量范围：低浓度测量范围为0至0.2ppm，中浓度测量范围为0至0.5ppm。
最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可显示负值。
精度：线性度、再现性和准确性均为±0.5%/满量程。
漂移：零漂移和跨度漂移均为±0.5%/FS/月。
设备设计

低浓度臭氧环境测量半导体制造用 的详细介绍

低浓度臭氧环境测量半导体制造用

低浓度臭氧环境测量半导体制造用

测量性能

  • 测量方法：采用紫外线吸收法，依据朗伯-比尔定律，通过光度吸收原理精确测量臭氧浓度。
  • 测量范围：低浓度测量范围为0至0.2ppm，中浓度测量范围为0至0.5ppm。
  • 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可显示负值。
  • 精度：线性度、再现性和准确性均为±0.5%/满量程。
  • 漂移：零漂移和跨度漂移均为±0.5%/FS/月。

设备设计

  • 样品流速：1.5至2升/分钟。
  • 测量周期：12秒（标准）。
  • 显示：浓度显示为LED大写字母（红色），信息显示为绿色小写字母，两行显示。
  • 输出功能：具备瞬时值0至1V DC的模拟输出，以及1小时平均值0至1V DC的输出。同时配备遥测输出和RS-232C接口。

环境适应性

  • 工作温度：0至45°C。
  • 工作湿度：10至80%（无冷凝）。
  • 温度补偿功能：内置反应池温度传感器。
  • 压力补偿功能：反应池内内置压力传感器。

物理特性

  • 电源：AC100V，50/60Hz，约70VA。
  • 外形尺寸：430宽×132高×410深。
  • 重量：约10公斤。

适用场景

Model 1200适用于半导体制造等需要精确监测低浓度臭氧的场所。

测量性能

  • 测量方法：采用紫外线吸收法，依据朗伯-比尔定律，通过光度吸收原理精确测量臭氧浓度。
  • 测量范围：低浓度测量范围为0至0.2ppm，中浓度测量范围为0至0.5ppm
    。
  • 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可显示负值
    。
  • 精度：线性度、再现性和准确性均为±0.5%/满量程。
  • 漂移：零漂移和跨度漂移均为±0.5%/FS/月。

设备设计

  • 样品流速：1.5至2升/分钟
    。
  • 测量周期：12秒（标准）。
  • 显示：浓度显示为LED大写字母（红色），信息显示为绿色小写字母，两行显示
    。
  • 输出功能：具备瞬时值0至1V DC的模拟输出，以及1小时平均值0至1V DC的输出。同时配备遥测输出和RS-232C接口
    。

环境适应性

  • 工作温度：0至45°C
    。
  • 工作湿度：10至80%（无冷凝）
    。
  • 温度补偿功能：内置反应池温度传感器
    。
  • 压力补偿功能：反应池内内置压力传感器
    。

物理特性

  • 电源：AC100V，50/60Hz，约70VA
    。
  • 外形尺寸：430宽×132高×410深
    。
  • 重量：约10公斤
    。

适用场景

Model 1200适用于半导体制造等需要精确监测低浓度臭氧的场所
。


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