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半导体用高纯气体在线交换式气体加热器

产品名称: 半导体用高纯气体在线交换式气体加热器
产品型号: S/M/L系列
产品特点: 半导体用高纯气体在线交换式气体加热器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是专为半导体?FPD 产线高纯气体设计的在线、交换式（Hot-Swap）气体加热器，可在不中断工艺、不暴露大气的情况下快速更换加热芯，实现高纯气体（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒温供应，广泛应用于光刻机温控、CVD/ALD 前驱剂载气、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心卖点
交换式（Ca

半导体用高纯气体在线交换式气体加热器 的详细介绍

半导体用高纯气体在线交换式气体加热器

半导体用高纯气体在线交换式气体加热器

日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是专为半导体?FPD 产线高纯气体设计的在线、交换式（Hot-Swap）气体加热器，可在不中断工艺、不暴露大气的情况下快速更换加热芯，实现高纯气体（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒温供应，广泛应用于光刻机温控、CVD/ALD 前驱剂载气、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心卖点

  • 交换式（Cartridge）结构：30 秒完成加热芯更换，无需停气、无需工具
  • 高纯对应：全 316L EP 管 + VCR 接头，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高温高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：双腔体旁路设计，在线切换加热芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆盖
  • 认证：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 压力容器豁免

?? 系列规格速览

表格
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系列流量范围最高出口温度加热功率接管口径全长重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是专为半导体?FPD 产线高纯气体设计的在线、交换式（Hot-Swap）气体加热器，可在不中断工艺、不暴露大气的情况下快速更换加热芯，实现高纯气体（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒温供应，广泛应用于光刻机温控、CVD/ALD 前驱剂载气、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。

? 核心卖点

  • 交换式（Cartridge）结构：30 秒完成加热芯更换，无需停气、无需工具
  • 高纯对应：全 316L EP 管 + VCR 接头，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
  • 高温高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
  • Hot-Swap：双腔体旁路设计，在线切换加热芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
  • 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆盖
  • 认证：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 压力容器豁免

?? 系列规格速览

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系列流量范围最高出口温度加热功率接管口径全长重量
S3 – 20 L/min200 °C0.5 kW?" VCR235 mm2.8 kg
M20 – 80 L/min200 °C1.5 kW?" VCR315 mm5.5 kg
L80 – 200 L/min200 °C3.0 kW?" VCR410 mm9.2 kg



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