半导体工业设备用压力调整器

半导体工业设备用压力调整器

1. TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
2. 出货检验：包括泄漏测试在内的全部出货检验，确保产品质量。
3. 洁净室组装：组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行，保证产品的高纯度和洁净度。
4. 大流量机型：TORR-3300系列为一次高压用大流量机型，最大220m3/h（nor）供应可能。
5. 材质：使用材质接触气体部主体为SUS316，隔膜为氯罗普钨橡胶（气体接触面、特氟龙盖），压力表为SUS316L，接头为SUS316，氟树脂，非接触气体部盖子为C3604。
6. 性能参数：入口侧最高使用压为20MPa，出口侧最高使用压为1.0MPa，最大流量为220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用温度为-5～40°C，重量为14kg。过滤器未装入，请另行设置。外部泄漏量为1.3×10-6Pa m3/sec以下。
7. 二次侧微压控制：TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。

1. TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
2. 出货检验：包括泄漏测试在内的全部出货检验，确保产品质量。
3. 洁净室组装：组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行，保证产品的高纯度和洁净度。
4. 大流量机型：TORR-3300系列为一次高压用大流量机型，最大220m3/h（nor）供应可能。
5. 材质：使用材质接触气体部主体为SUS316，隔膜为氯罗普钨橡胶（气体接触面、特氟龙盖），压力表为SUS316L，接头为SUS316，氟树脂，非接触气体部盖子为C3604。
6. 性能参数：入口侧最高使用压为20MPa，出口侧最高使用压为1.0MPa，最大流量为220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用温度为-5～40°C，重量为14kg。过滤器未装入，请另行设置。外部泄漏量为1.3×10-6Pa m3/sec以下。
7. 二次侧微压控制：TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。

1. TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。
2. 出货检验：包括泄漏测试在内的全部出货检验，确保产品质量。
3. 洁净室组装：组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行，保证产品的高纯度和洁净度。
4. 大流量机型：TORR-3300系列为一次高压用大流量机型，最大220m3/h（nor）供应可能。
5. 材质：使用材质接触气体部主体为SUS316，隔膜为氯罗普钨橡胶（气体接触面、特氟龙盖），压力表为SUS316L，接头为SUS316，氟树脂，非接触气体部盖子为C3604

   。
6. 性能参数：入口侧最高使用压为20MPa，出口侧最高使用压为1.0MPa，最大流量为220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用温度为-5～40°C，重量为14kg。过滤器未装入，请另行设置。外部泄漏量为1.3×10-6Pa m3/sec以下。
7. 二次侧微压控制：TORR-L系列是可控制二次侧微压的调整器。