半导体工艺高密封型真空调节结构压力调整器

半导体工艺高密封型真空调节结构压力调整器

品特点

• 专为半导体工艺设计：L96系列调压阀是专为半导体工艺制造气体设计的真空调节结构产品，特别适用于低蒸气压的气体。
• 优良的密封性能：采用外部金属密封和焊接接头规格，具有优良的外部泄漏和颗粒性能，外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 宽广的调整压力范围：调整压力范围为-0.1MPa至0.2MPa，能够适应多种工艺需求。
• 高承受压力：进口侧承受压力可达22.2MPa，确保在高压环境下的稳定运行。
• 适配性强：工作温度范围为-10°C至+40°C，能够适应不同的工作环境。

技术参数

• 入口压力：0.99MPa以下
• 调整压力：-0.1MPa～0～0.2MPa
• 承受压力：22.2MPa（进口侧）
• Cv值：0.07
• 工作温度：-10°C至+40°C
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）
• 内容量：5.739cm3（不包括3个压力表和配件）
• 重量：约1.6kg
• 安装方法：背面用螺丝安装

品特点

• 专为半导体工艺设计：L96系列调压阀是专为半导体工艺制造气体设计的真空调节结构产品，特别适用于低蒸气压的气体。
• 优良的密封性能：采用外部金属密封和焊接接头规格，具有优良的外部泄漏和颗粒性能，外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 宽广的调整压力范围：调整压力范围为-0.1MPa至0.2MPa，能够适应多种工艺需求。
• 高承受压力：进口侧承受压力可达22.2MPa，确保在高压环境下的稳定运行。
• 适配性强：工作温度范围为-10°C至+40°C，能够适应不同的工作环境。

技术参数

• 入口压力：0.99MPa以下
• 调整压力：-0.1MPa～0～0.2MPa
• 承受压力：22.2MPa（进口侧）
• Cv值：0.07
• 工作温度：-10°C至+40°C
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）
• 内容量：5.739cm3（不包括3个压力表和配件）
• 重量：约1.6kg
• 安装方法：背面用螺丝安装

品特点

• 专为半导体工艺设计：L96系列调压阀是专为半导体工艺制造气体设计的真空调节结构产品，特别适用于低蒸气压的气体。
• 优良的密封性能：采用外部金属密封和焊接接头规格，具有优良的外部泄漏和颗粒性能，外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 宽广的调整压力范围：调整压力范围为-0.1MPa至0.2MPa，能够适应多种工艺需求。
• 高承受压力：进口侧承受压力可达22.2MPa，确保在高压环境下的稳定运行。
• 适配性强：工作温度范围为-10°C至+40°C，能够适应不同的工作环境。

技术参数

• 入口压力：0.99MPa以下
• 调整压力：-0.1MPa～0～0.2MPa
• 承受压力：22.2MPa（进口侧）
• Cv值：0.07
• 工作温度：-10°C至+40°C
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）
• 内容量：5.739cm3（不包括3个压力表和配件）
• 重量：约1.6kg
• 安装方法：背面用螺丝安装