产品资料
实验室低压标准气体精密压力调整器
产品名称: 实验室低压标准气体精密压力调整器
产品型号: 6610型
产品特点: 实验室低压标准气体精密压力调整器日本 KOFLOC 6610 型是一款专为“低压、无泄漏、精密控制"场景设计的压力调节器，集合了：金属波纹管＋双密封＝He 漏率 ≤1×10?? Pa·m³/s平衡阀芯＝入口波动自动补偿，出口压力不受上游变化影响0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.
实验室低压标准气体精密压力调整器 的详细介绍
实验室低压标准气体精密压力调整器
实验室低压标准气体精密压力调整器
日本 KOFLOC 6610 型是一款专为“低压、无泄漏、精密控制"场景设计的压力调节器，集合了：
- 金属波纹管＋双密封＝He 漏率 ≤1×10?? Pa·m3/s
- 平衡阀芯＝入口波动自动补偿，出口压力不受上游变化影响
- 0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.
- 端口 1/4–1/2 英寸可选，材质全 SUS316L，可应对腐蚀性气体/液体
典型用途：半导体 purge、燃料电池阳极低压配气、分析仪器载气入口、实验室低压标准气体发生等。
1. 型号与流通能力
| 型号 | 端口 | Cv | 大流量 * | 适用管径 |
|---|---|---|---|---|
| 6610-02 | Rc1/4 | 0.2 | 10 L/min | DN6-10 |
| 6610-03 | Rc3/8 | 0.4 | 25 L/min | DN10-15 |
| 6610-04 | Rc1/2 | 0.7 | 50 L/min | DN15-20 |
*N?、0.1 MPa 入口、0.05 MPa 出口条件下实测值
2. 主要规格
- 入口压力：0–1.0 MPa
- 出口调压：0.005–0.4 MPa（5–400 kPa）
- 灵敏度：≤0.2 kPa
- 温度范围：-10–80 ℃（可选高温 150 ℃型）
- 密封等级：ISO 15848-1 BH 级／He 漏率 ≤1×10?? Pa·m3/s
- 材质接液：SUS316L + 氟橡胶（FKM）/FFKM 可选
- 重量：0.7 kg（1/4 型）
3. 结构亮点
① 金属波纹管感知元件 → 无摩擦、无滞后，长期使用漂移＜0.3 %/年
② 平衡式阀芯 → 入口压力波动 0.05→0.8 MPa 时，出口变化＜±0.3 kPa
③ 双密封设计 → 满足 SEMI F70、FCG 无泄漏要求
④ 面板/底板两用 → 30×30 mm 方板，可直接装入 19″ 机架
⑤ 内置 40 μm 过滤网 → 防止颗?？ǚ?，可在线冲洗
② 平衡式阀芯 → 入口压力波动 0.05→0.8 MPa 时，出口变化＜±0.3 kPa
③ 双密封设计 → 满足 SEMI F70、FCG 无泄漏要求
④ 面板/底板两用 → 30×30 mm 方板，可直接装入 19″ 机架
⑤ 内置 40 μm 过滤网 → 防止颗?？ǚ?，可在线冲洗
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