产品资料
工业级大流量气体质量流量调节计控制器
产品名称: 工业级大流量气体质量流量调节计控制器
产品型号: 6700系列
产品特点: 工业级大流量气体质量流量调节计控制器日本 KOFLOC 6700 系列是专为“大流量、零泄漏"设计的工业级压力调节器（Pressure Reducing Regulator），适用于 气体质量流量计/控制器（MFC）入口稳压、半导体吹扫、化工反应器、燃料电池测试台 等需要 10–600 L/min 级别洁净气体 且 不允许任何旁通泄漏 的场合。
工业级大流量气体质量流量调节计控制器 的详细介绍
工业级大流量气体质量流量调节计控制器
工业级大流量气体质量流量调节计控制器
日本 KOFLOC 6700 系列是专为“大流量、零泄漏"设计的工业级压力调节器（Pressure Reducing Regulator），适用于 气体质量流量计/控制器（MFC）入口稳压、半导体吹扫、化工反应器、燃料电池测试台 等需要 10–600 L/min 级别洁净气体 且 不允许任何旁通泄漏 的场合。
? 系列定位
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 型 号 | 6700 系列（6701 / 6702 / 6703 / 6704） |
| 通 径 | 1/4″、3/8″、1/2″、3/4″（对应 6701→6704） |
| 零泄漏 | 金属波纹管 + 双 O-ring，He 泄漏率 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s |
| 大流量 | Max 600 L/min（N?，入口 0.7 MPa，出口 0.2 MPa） |
| 用 途 | MFC 入口稳压、半导体 purge、燃料电池台、化工配气 |
?? 主要规格
| 参数 | 6701 | 6702 | 6703 | 6704 |
|---|---|---|---|---|
| 端口尺寸 | RC1/4 | RC3/8 | RC1/2 | RC3/4 |
| 最大入口压力 | 1.0 MPa | 1.0 MPa | 1.0 MPa | 1.0 MPa |
| 出口调压范围 | 0.01–0.4 MPa | 0.01–0.4 MPa | 0.01–0.4 MPa | 0.01–0.4 MPa |
| Cv 值 | 0.4 | 0.8 | 1.4 | 2.2 |
| 流量能力 | 100 L/min | 200 L/min | 400 L/min | 600 L/min |
| 阀座材料 | PCTFE（标准），可选 PFA、SUS316L | |||
| 波纹管 | SUS316L 焊接，弹性密封，无背漏 | |||
| 温度范围 | -10 – 70 ℃（可选高温 120 ℃型） | |||
| 重量 | 0.7 kg | 0.9 kg | 1.3 kg | 1.8 kg |
?? 结构亮点
- 金属波纹管平衡式
入口压力波动自动补偿，出口压力变化 ≤ ±0.3 % F.S.（入口 0.3→0.7 MPa 阶跃）。 - 双密封零泄漏
波纹管 + FKM/FFKM O-ring，He 检漏 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s，满足 SEMI F70、ISO 15848-1 BH 级。 - 大 Cv 设计
阀座流道采用 CFD 优化，压降比传统 3000 系列降低 35 %，同等流量可选更小口径。 - 洁净级处理
全系列经 0.1 µm 过滤洁净空气吹扫 + 超声波纯水清洗，颗粒 ≤ 100 pcs/ft3 (@0.1 µm)。 - 面板/底板两用
自带 30 × 30 mm 方板，可嵌入 19″ 机架或管路在线安装，无需额外支架。
?? 典型应用流程
| 系统 | 用法 | 效果 |
|---|---|---|
| 半导体 CVD | MFC 入口稳压 0.15 MPa | 流量重复性 ↑ 0.5 % → 0.1 % |
| 燃料电池台 | 阳极 H? 0.2 MPa 恒压 | 防止膜入口压力脉冲破裂 |
| 化工配气 | 反应器 6 路大流量 N? 吹扫 | 6704 一路替代两只传统 R-700，节省空间 40 % |
| LPG 混合燃烧 | 0.3 MPa 减压至 0.05 MPa | 零泄漏避免危险气体渗入控制柜 |
??? 选型与选项
| 代码 | 含义 |
|---|---|
| -HT | 高温型 120 ℃，阀座 PEEK + FFKM |
| -PFA | 全 PFA 阀座，强腐蚀性气体（Cl?、HBr） |
| -B | 带入口 0.3 MPa 安全阀，防止过压冲击 MFC |
| -C | 出口压力表 ?50 mm，0–0.4 MPa，面板安装 |
| -SC | 表面电解抛光 Ra ≤ 0.25 µm，UHP 级 |
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